[特長]

• 硬度が高く、耐摩耗性に優れている
• 耐熱性に優れている
• 化学的安定性があり、耐薬品性に優れている
• 比較的安価で経済性が良い

[主な用途]

• シリコンウエハーラッピング用定盤
• 各種定盤
• 絶縁リング
• 各種パイプ

[材質]

• アルミナ92%
• アルミナ99.5%

[製品例]

• パイプφ600×250L
• 円盤 φ1100×30t
• 角板 900×800×30t
• 角板 900×800×50t